設備啟(qǐ)動前進行下列(liè)檢查(chá)和調試: 1、檢查設備接地是否可靠,電氣(qì)部分是否正確。
2、取下電(diàn)機上彈性聯軸器,啟動電機,檢查電機運轉方(fāng)向與真空泵殼體旋轉(zhuǎn)箭(jiàn)頭(tóu)方向是否一至,然後再裝上聯軸器(qì)。
3、檢查真空泵(bèng)運轉方向與箭頭方向是否一致(詳見真空泵使用說明書)。
4、檢查有關部件的連接螺釘是否擰緊,特別是真空(kōng)係統的連接螺釘。
5、檢查各轉動(dòng)機構的傳動是否靈活,有無卡滯。
6、打(dǎ)開蒸發室,對蒸發室內(nèi)壁和內部零件進行清潔,檢查蒸發室內各電極接線是否正確。尤其注意電阻蒸發電極(jí)是否與防汙板相碰。
7、對蒸發室試(shì)抽真空,檢查是否能達到(dào)應達到的真空指標。
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