
一、當蒸發室真空度達到所(suǒ)需要求工作(zuò)真空度時,可進行電阻蒸發。操作過程如下:
a.選擇好(hǎo)阻蒸(zhēng),手動操作擋板機構,使擋板置於蒸發源上方,緩緩調(diào)節坩堝溫度(dù)升溫待(dài)蒸(zhēng)發材(cái)料(liào)預(yù)熔除氣(qì)完畢後,打開擋板開始蒸發(使用設備底部磁力驅動把手打開坩堝口)。
b.通過上(shàng)下鍵設定(dìng)目標溫(wēn)度,按下加熱啟停鍵對坩堝進行加熱。
二、蒸發完畢後(hòu),對被鍍工件進行(háng)一段時間的真空狀態儲存。然後操作真空度。打開放氣閥對蒸發室放氣,待放氣閥完畢後,及時關閉放氣閥。打開蒸發(fā)室門,取下工件(jiàn)。
三、取出工件後,應迅速做好下一周期的準備工作。關上蒸發室門,擰緊(jǐn)門框。重複抽真空。蒸發室(shì)暴露大氣的時間不應(yīng)超過15min。
四(sì)、關總電源、水源、氣源。 |
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