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真空安定性測試儀傳感器測壓線性檢驗步驟如下:
使係統(tǒng)處在真空狀態下,關上(shàng)二通閥(“19”),開啟放氣閥(“16”),讓空氣進(jìn)入真空泵,關斷真空泵開關(“2”)。
微微(wēi)開啟二(èr)通(tōng)閥,讓少許空氣進入真空係(xì)統後,即(jí)關閉該閥,觀察真空表指針(zhēn)所(suǒ)指讀數(shù)和大(dà)氣壓的差值與測壓表上(shàng)讀數是否一致。
重複該過程,使真空表(biǎo)指針停在不(bú)同位置上,並觀察其讀數和大氣壓的差值是否與測(cè)壓表上讀數一致,若兩(liǎng)者之間相差不大於±0.2KPa,則傳感(gǎn)器(qì)測壓線性(xìng)良好(hǎo)。
檢驗完畢,真空係統放入大氣,關(guān)斷(duàn)測壓表電源(yuán)。
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