設備啟動前進行(háng)下列檢查和(hé)調試: 1、檢查設備接地是否可靠,電氣部(bù)分是否正確。
2、取下電機上彈性聯軸器(qì),啟動電機,檢查電機運轉方向與(yǔ)真(zhēn)空泵殼體旋轉箭頭方向是否一至,然後再裝上聯軸器。
3、檢查真空泵(bèng)運轉方向與箭頭方向是否(fǒu)一致(詳見真(zhēn)空泵使用說明書(shū))。
4、檢查有關部件的連(lián)接螺釘是否擰緊,特別是真(zhēn)空係統的連接(jiē)螺(luó)釘。
5、檢查各轉動機構的傳動是否靈活,有無卡滯。
6、打開蒸(zhēng)發室,對(duì)蒸(zhēng)發室內壁和內部(bù)零件進行清潔,檢查蒸發室內各電極(jí)接線是否正確。尤其注意電阻蒸(zhēng)發電(diàn)極是否與防汙板相碰。
7、對蒸發室試抽(chōu)真空,檢查是否能達到應達到的(de)真空(kōng)指標。
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