真(zhēn)空鍍膜機主要(yào)指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜,具體包括很多種類,包括真空(kōng)電阻加熱蒸發,電子(zǐ)槍(qiāng)加熱蒸發,磁控濺射(shè),MBE分(fèn)子(zǐ)束外延,PLD激(jī)光濺射沉積,離子束濺射等很多種。主(zhǔ)要思路是分成(chéng)蒸發和濺射兩種。
ZKJ B真空鍍膜機采用箱(xiāng)式結構,抽(chōu)氣係統(tǒng)後臵,便於拆(chāi)卸和維修。整機表麵平整,便於(yú)清潔,適合淨(jìng)化間安裝。蒸發室全部采用不鏽鋼製(zhì)造,外有可通冷、熱水的護罩,可對壁進行加熱(熱水器選配)或冷卻。真空鍍膜機閥門采(cǎi)用氣動,操作方(fāng)便,使用可靠。液氮冷阱和水冷擋板(bǎn)設計(jì)為一整體。蒸發(fā)室抽氣口也設臵(gé)一光學密封機械擋板(bǎn),因此可(kě)使蒸發室的油汙染降低到極低的程度。
注意事項:
1.泵(bèng)本身要保持清潔幹燥,泵內的油具(jù)有密封和潤滑作用(yòng),因此要按照規定(dìng)量添加。
2.機(jī)械泵停(tíng)止工作前要先關閉進氣閥門,再停電並開放氣閥,將大氣通過進氣口放入泵中。
3.要不定期(qī)檢點機械泵的(de)皮帶鬆緊度、電機的轉速,羅茨泵電機的轉速,和密封圈的(de)密封效果(guǒ)。
4.機械泵要安裝在清潔幹燥的地方。
5.泵在工作期間(jiān),油溫不可以超過(guò)75攝氏度,否則會由於油的黏度過小而導致密封不嚴。