真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度(dù)下進行的鍍膜,具體包括很多種類,包括真空電阻加熱蒸發,電子槍加熱蒸發,磁(cí)控濺射,MBE分子束外延(yán),PLD激(jī)光濺射沉積,離子束濺射等很多(duō)種。主要思路是分成蒸發和濺射兩種。
ZKJ B真空鍍膜機采用箱式結構,抽氣係統後臵(gé),便於拆卸和維(wéi)修。整機表麵平整(zhěng),便於清潔,適合淨化間安(ān)裝。蒸發室(shì)全部采用不鏽鋼製造(zào),外有可通冷、熱水的護罩,可對壁進行(háng)加熱(熱水器選配(pèi))或冷卻。真空鍍膜機閥門采用氣動,操作方便,使用可靠。液氮冷阱和水冷擋板設計為一整體。蒸發室(shì)抽氣口也設臵一光學密封(fēng)機(jī)械擋(dǎng)板,因此(cǐ)可使蒸發室的油汙染降低到極(jí)低的程度。
注意事項:
1.泵本(běn)身要保持清潔幹燥,泵內的(de)油具有密封和潤滑作用,因此要(yào)按照規定量添(tiān)加。
2.機械泵停止工作前(qián)要(yào)先關(guān)閉進氣閥(fá)門,再停電並開放氣閥(fá),將大(dà)氣通過進氣口放入泵中。
3.要不定期檢點機械泵的皮帶鬆緊度(dù)、電機的轉速,羅茨泵電機的轉速,和密封圈的密封效果(guǒ)。
4.機(jī)械泵要安(ān)裝在清潔幹燥的地方。
5.泵在工作期間,油溫不(bú)可以超過75攝氏度,否則會由於油的黏度過小而導致密封不嚴。