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設備裝配過程(1) |
這是我公司近期的一個定製項(xiàng)目,為客戶定做了一台真空鍍膜機。本實驗設備適用於鍍製各種多層光學薄膜和電(diàn)學膜,是(shì)有關工廠、研究院和大專(zhuān)院(yuàn)校進行生(shēng)產和科研的理想設備。
設備裝配過程(chéng)(2) 本(běn)設備采用箱式結構,抽氣係統後臵(gé),便(biàn)於拆卸和維修。整機表麵平整,便於清潔,適合淨化間安裝。蒸發室(shì)全(quán)部采用不鏽(xiù)鋼製造,外有可通冷、熱(rè)水的護罩,可對壁進行加熱(熱水器選配)或冷卻。閥門采用氣動,操作方便,使用可(kě)靠。液氮冷阱和水冷(lěng)擋(dǎng)板設計為一整體。蒸發室抽(chōu)氣口也設臵一光學密封機械擋板,因此(cǐ)可使蒸發室的油汙染降低到極低的(de)程度。本設備配備的抽氣元件抽速較大,因此具有抽氣時間短,工作真空度高,生產周期短等特點。
完工後的設備 主要技術參數(shù) 1)真空,極限真空:2×10-4Pa 2)恢複真空,從大氣→2×10-3Pa≤10min
3)蒸發室,腔體尺寸:500x500x700 4)工件夾(jiá)具:外徑(jìng)φ100mm
5)夾(jiá)具轉速(sù):N=9-300rpm 6)電源:220v/50Hz
7)總功率:3kw 8)溫濕度數據記錄頻率:1次/分(容量>6小時)
9)手動排氣(qì)閥(fá)直徑(jìng):25mm 10)頂部機械壓力表測量範圍:-0.1Mpa-0
11)平板(bǎn)電極材(cái)質:紫銅(300x300x2) 12)膜厚測試儀(yí)測量範圍:20nm-1μm
13)起泡(pào)器溫控精度:±0.5℃ 14)起泡器外接接(jiē)口尺寸:1/4寸 |
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